等離子技術是利用等離子體獲得高溫熱源的一項技術。在化學工業中，利用等離子技術能實現一系列的反應過程。而等離子清洗作為一種材料表面處理的高科技設備，目前被廣泛應用于材料表面清洗、活化、涂層、刻蝕等方面，可以幫助工程師更高效的完成工作內容。

 

那么等離子清洗的具體原理是什么呢？功率放大器在此領域是如何應用的？

 

密閉的反應腔體（真空室、真空腔體）被真空泵不斷抽氣，從1個標準大氣壓下降到設定的壓力值并維持真空度；通入氬、氫、氮氣等工藝氣體，啟動等離子發生器，讓反應腔體內電極之間產生高壓交變電場，使得自由電子能量加速，去激發工藝氣體分子形成等離子體，具有高反應活性或高能量的等離子體，會與有機污染物及微顆粒污染物反應、碰撞形成各種揮發性物質，這些揮發性物質伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去，從而達到被處理對象表面清潔、活化等目的。

等離子清洗是利用等離子將附著在基板表面的油等有機物分解、汽化的清洗技術。除了是一種不使用水或清潔溶液的干燥清潔方法外，它還提供高水平的清潔，不會留下任何殘留物。

 

等離子清洗還可以通過破壞分子鍵并用羥基修飾來使被處理物體表面親水。在半導體制造過程中，它還用于為圖案化的 PDMS（二甲基聚硅氧烷）表面增加親水性，以提高圖案附著力。

 

等離子清洗的具體優勢

等離子清洗技術具有很多優勢，首先它十分環保，此技術利用氣固相干式反應，無化學添加，不消耗水資源；其次，它應用范圍廣，無論是金屬、半導體、氧化物還是高分子材料都可以進行處理；同時它功能強大，可以在處理材料時保留其自身特性并賦予新功能；最后的最后它成本低廉且全過程可控，可以幫助企業更好進行清洗加工工作。

針對等離子清洗相關的驅動問題，Aigtek安泰電子特提供了信號發生器（ATG-2000系列功率信號源）+高壓放大器（ATA-7025）的測試方案。

 

ATA-7025高壓放大器

 

高壓放大器和信號發生器都需要具有高性能和高品質的輸出波形：一方面是良好的穩定性能，輸出波形失真小，并且信號發生器還需要能產生多種波形信號；另一方面是良好的動態性能，調幅調頻方便，負載適應性好，此外有些測試除了需要信號發生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。

 

ATA-7025高壓放大器是Aigtek公司生產交直流高壓電源產品，電壓可達5kVp-p（±2.5kVp），，同時具有過流、過溫保護功能。適用于驅動高壓型負載，可放大交、直流信號，輸出電流30mA，電壓增益數控0~1000倍可調，結合液晶面板增益的顯示，能夠快速調整至需要的電壓值，一鍵保存常用設置，可與任意品牌信號發生器配套使用，實現任意波形信號的完美放大。

 

1/1000Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/1000，監測口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進行輸出電壓的實時監測。

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